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sp;“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5n工艺。”陆飞直截了当地回答。
    
    一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
    
    “还有良率。”
    
    “是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
    
    领导们来回分析，议论纷纷。
    
    陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
    
    “比如呢？”
    
    沙领导投去问询的目光。
    
    “光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
    
    陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”
    
    然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”
    
    “那这期间，复芯、中芯的晶圆代工，有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大？”
    
    郑韩皱了皱眉。
    
    “肯定会，但好在情况并不糟糕。”
    
    陆飞笑道：“虽然5n是目前我们的极限，理论上而言，台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的，制程工艺甚至可以冲击到1n，但得到的回报并不会太高。”
    
    不少领导感到奇怪，“为什么这么说？制程工艺难道不是越先进越好嘛？”
    
    “理论上是这样，但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势，搭载5n芯片的手机体验，未必就不如3n，就会让3n及以下工艺陷入一种尴尬的地步，飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
    
    陆飞嘿然一笑，“反倒是28n、14n和7n这三个节点的工艺才是市场主流，特别是我们国内绝大部份的芯片需求，所以有了国产的DUV浸润式光刻机，基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子，也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”
    
    众人两两相望，相视一笑。
    
    确实，28n是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
    
    除了对功耗要求比较高的 CPU、GPU、AI芯片外，其余的工业级芯片用的都是28n以上的技术，比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
    
    但现在，7n，甚至不计任何代价，极限可以推到5n，简直是绰绰有余。
    
    “你们在资金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有没有什么需要我们解决的？”
    
    沙领导慈眉善目。
    
    陆飞也不客气，立马张口。
    
    一个敢提，一个敢接。
    
    “我还有个提议，希望领导们能支持。”
    
    “说。”
    
    “是这样，逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目，那就是研究直接跳过光刻机，建立光刻厂和光刻车间。”
    
    “光刻厂和光刻车间？！”
    
    沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。

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