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光,经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。

    光掩膜台上面放的就设计公司做好的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。

    曝光台上放置着8寸或者12英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶,具有光敏感性,紫外光就会在晶圆上蚀刻出电路。阅读模式加载的章节内容不完整只有一半的内容,请退出阅读模式阅读

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