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控制系统技术:控制系统是光刻机的核心部分,它负责整个曝光过程的控制和管理。现代控制系统采用计算机和控制软件,能够实现自动对位、自动瞩光、自动对焦等功能。
曝光技术:曝光技术是光刻机制造中最关键的技术之一,它的精度和速度直接影响到芯片的制造质量和效率。现代曝光技术主要包括多重图形投射式曝光技术+、极紫外光曝光技术等。
王骁自己的了解了一下这次突破的方面,这次的突破只要就是之前一直难以攻克的极紫外线蚀刻问题这次被攻克了!
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