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起来,光刻机实验室的空气被抽干,整个实验室进入真空状态,光刻机必须要在真空状态下才能运行,因为这台光刻机还没有安装外壳的原因。
最简单的方法就是将整个实验室的空气抽干将实验室转换成真空状态。
光刻机的光刻台也在这个时候开始运转起来。
光刻机将一片晶圆刻录完毕,机器人将晶圆从机器上取出,随后机器人将晶圆放入输出窗,技术员也在输出窗那拿到晶圆,接下来就是对晶圆的刻蚀和清洗。
只有经过这两个步骤以后才能确认光刻机刻录是否成功。
这两个过程需要将近二十个小时来完成,接下来他们要做的就只有等待了,只要结果出来就知道是否成功了。(本章完)阅读模式加载的章节内容不完整只有一半的内容,请退出阅读模式阅读
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